

一、行業簡介
半導體、集成(chéng)電(diàn)路芯片(piàn)及封裝、液(yè)晶顯示、高(gāo)精度線路板、光電器件、各種電子器(qì)件、微電子工業、大規模、超大規模集(jí)成電路需用大(dà)量的純水、高純水、超(chāo)純(chún)水清洗半成(chéng)品、成品。集成電路的集成(chéng)度越高,線寬越窄,對水質的要求也越高。目(mù)前我國(guó)電子工業部把電子級水質技術分為五個行業等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水(shuǐ)質。
二、應用範圍
1、電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品(pǐn)、造紙、日化、建材(cái)、造漆、蓄電池、化驗、生物、製藥、石(shí)油(yóu)、化工、鋼鐵、玻璃等領域。
2、化工工藝用水、化學藥(yào)劑、化妝品等用純水。
3、單晶矽、半導體晶片切割製造、半導體芯片、半導體封裝(zhuāng) 、引線櫃架、集成電(diàn)路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件、電容器潔淨產品及(jí)各種(zhǒng)元器件等生產工藝用純水。
三(sān)、工藝簡介
1、係統模塊化設計(jì),共分四部分:預處理係統(tǒng)、反滲透係統、EDI係統、終端供水係統。
2、預處理係統主要用來去除原水中的懸浮物、濁度、色度、膠體以(yǐ)及部分有機(jī)物,保證產水符合(hé)反滲透係統的進水水質要(yào)求。
3、反滲透係統主要用來去除(chú)原水中溶解性鹽類物質、細菌、熱源等,保證(zhèng)產水符合EDI係統進水水質要求。
4、EDI係統主(zhǔ)要用來對反滲透產水進(jìn)行(háng)進一步脫(tuō)除溶解(jiě)性的小分子(zǐ)鹽類物(wù)質,產水達到電阻率達到15MΩ.cm以(yǐ)上。
5、終端供水係統主要是用(yòng)來將合格水輸送至用水點,輸送過程中對EDI產生進行最後的離子交換脫鹽,使得產水達到電阻率達到18MΩ.cm以上。
6、整個(gè)係統(tǒng)進行集中控製。
四(sì)、技術特色
1、係統模塊化設計,占(zhàn)地麵(miàn)積小,操作維護方便,安裝方便快捷,整體美觀。
2、整套係(xì)統實(shí)現(xiàn)全自動化運行,並且手(shǒu)動(dòng)與自動自由切換。
3、設備產(chǎn)水水質穩定,運(yùn)行連(lián)續穩定。
4、係統工藝先進,無需化學藥品再生,無危害性(xìng)廢液排放(fàng)。
5、係統節水率高,係統回收率在75%以上(shàng)。
6、關鍵部位采用在線儀表監測,適時數據上傳。
五、設備參數
1、係統回收率:
超濾≥90%
一級反滲透≥75%
二級反滲透≥85%
EDI係統≥90%
2、設備產水(shuǐ)符(fú)合《電(diàn)子超純水國家標準(zhǔn)》 (GB/T1144.6.1-1997)或(huò)美(měi)國半導體工業純(chún)水指標。
3、單支膜脫鹽率≥99.5%(水(shuǐ)溫25℃)。