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電子行業用水

電子行業(yè)用水.jpg

一(yī)、行業簡介
        半導體、集成電路芯片及封裝、液晶(jīng)顯示、高精度線路板(bǎn)、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大(dà)規模集成電路需用大量的(de)純水、高純水、超純(chún)水清洗半成品(pǐn)、成品(pǐn)。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質的要求也越高。目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業等級,分別(bié)為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分(fèn)不同水質。
二、應用範圍
1、電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄(xù)電池、化(huà)驗、生物、製藥、石(shí)油、化工、鋼鐵、玻(bō)璃等領域。
2、化工工(gōng)藝用水、化學藥劑、化妝品等用純(chún)水。
3、單晶矽、半導體晶片切割製造、半(bàn)導體芯(xīn)片(piàn)、半導體封(fēng)裝 、引線櫃架(jià)、集成電路、液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦(nǎo)元件、電容器潔淨產品及各種元(yuán)器件等生產工藝(yì)用純水。
三(sān)、工(gōng)藝(yì)簡介
1、係統模塊化設計,共分四部分:預處理係(xì)統、反滲透係統、EDI係統、終端供水係統。
2、預(yù)處理(lǐ)係統主要用來去(qù)除原水中的懸浮物(wù)、濁度、色度(dù)、膠體(tǐ)以及部分有機物,保證產水符合反滲透係統(tǒng)的進水水質要求。
3、反滲透係統主要用來去除原水中溶解性鹽類物質、細菌、熱源(yuán)等,保證產水符合EDI係統進水水(shuǐ)質要求。
4、EDI係統主要用來對反滲(shèn)透產水進行進一步脫除溶解性的(de)小(xiǎo)分子鹽類物質,產水達到電阻率達到15MΩ.cm以上。
5、終端供水係統主要是用來將合格水(shuǐ)輸(shū)送至用水點,輸送過程中對EDI產(chǎn)生進行最(zuì)後的離子交換脫鹽,使(shǐ)得產水達到電阻率達到18MΩ.cm以上。
6、整個係統進行(háng)集中控製。

四、技術特色
1、係統模塊化設計,占地麵積小,操作維護方(fāng)便,安裝方便快捷,整體美觀。
2、整套係統實(shí)現全(quán)自動化運行,並且手動與自動自由切換。
3、設備產水水質穩(wěn)定,運行連續穩定。
4、係統工藝先進,無需化學藥品再生,無危害(hài)性廢液排放。
5、係統節水率高,係統(tǒng)回收率在75%以(yǐ)上。
6、關鍵部位(wèi)采用在線儀表監測,適時數據上傳。
五、設備參數
1、係統回收率:
        超濾≥90%
        一級反滲透≥75%
        二級反滲透≥85%
        EDI係統≥90%
2、設備(bèi)產水符合《電子超純水國家標準》 (GB/T1144.6.1-1997)或美國半(bàn)導體工業純水指標。
3、單(dān)支膜脫鹽率≥99.5%(水(shuǐ)溫25℃)。

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